| Requisito medio: | Gases limpios, secos y no corrosivos. |
| Tipo de medio: | Aire, nitrógeno, oxígeno, dióxido de carbono, helio, hidrógeno, metano, argón, etc. |
| rango: | 0- 20,50,100,200,500) SCCM (0~1, 5, 10,50,100, 200, 500, 800) slm |
| precisión: | 0,01 sccm,100 sccm 1 sccm,1slm 0,01 sccm,>5slm |
| distinguibilidad: | Mínimo 0,01 SCCM |
| tiempo de respuesta: | 10 ms |
| precisión repetida: | ≤±0.2%FS |
| Tensión máxima soportada: | 1MPa |
| Cuerpo material: | Base: aleación de aluminio de aviación (lote de acero inoxidable 316L opcional) |
| Carcasa: aleación de aluminio |
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